Вакуумное оборудование — это категория технических устройств, которые используются для создания, поддержания и контроля вакуума в замкнутых пространствах. Это оборудование находит широкое применение в различных отраслях промышленности, в том числе в микроэлектронике, химической промышленности, пищевой отрасли, исследованиях материалов, а также в научных исследованиях.
Вакуумные Печи
Вакуумные печи сопротивления с возможностью закалки в газе и среде масла. Рабочая зона печей данной серии имеет прямоугольную форму.
Печи для металлообработки в вакууме. Подходят для низколегированных и углеродистых сталей.
Печи для цементации и азотирования в вакууме.
Печи для высокотемпературной обработки и специальные.
Индукционные печи и плавильные вакуумные печи.
Водородные печи.
Оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Оборудование для нанесения и травления тонких пленок: CVD, PCE / RIE (РИТ), PECVD и др. представляет современное оборудование с возможностью работы в автоматическом и полуавтоматическом режимах. Травление и нанесение SiO2, SiNx, SiC. Установки для нанесение пленок до 3000 нм с высокой равномерностью.