Полуавтоматические оптические дефектоскопы, предназначены для инспекции и обнаружения дефектов таких как загрязнение, царапины, растрескивание, фрагментация, частицы, травление, неполное травление, механические повреждения и т.д. Настольные версии с ручной загрузкой пластин.
Установки совмещения и экспонирования предназначены для выполнения операций прецизионного совмещения фотошаблонов с подложками гибридных интегральных схем по лицевой и обратной стороне и экспонирования нанесённых на них тонких слоёв позитивного и негативного фоторезистов, чувствительных в ультрафиолетовом спектре, источником света ультрафиолетового диапазона.
| Функции | Автофокус / Поворот / Сканирование / Увеличение / Отображение прицельной сетки |
|---|---|
| Размер пластин / рамок | До 8/12” |
| Режим | Автоматическая обработка рецепта |
| Фиксация | Вакуумный столик |