Глава 3. Технологическая схема производства интегральных схем

Маршрут технологического производства ИС представляет собой последовательность всех шагов физического формирования топологических структур, необходимых для изготовления ИС. Для удобства из нескольких последовательных шагов состоит «модуль», а объединение модулей составляют определенный «блок» ИС.


