Методика ПНР: локальная спецификация на оборудование

Локальная спецификация на оборудование является вспомогательным справочным документом спецификации закупки на единицу оборудования. Понимание каждой позиции сторонами необходимо для адаптации общей методики под специфику производства, требует сочетания теоретической базы и практических навыков, поэтому необходимо также уточнить детали и нюансы заранее при составлении технического задания на поставку оборудования.
Этапы проведения и методология ПНР
- Подготовительный этап
- Настроечный этап (Индивидуальные испытания)
- Опытный этап (Холостой ход и комплексное опробование)
- Итоговый этап (Сдача в эксплуатацию)
Разработка общей методики пусконаладочных работ (ПНР) — это составление регламента, обеспечивающего переход от монтажных к эксплуатационным этапам. Новый подход заключается в подготовке и выполнении как можно более раннего этапа подключения 1. (Предварительная подготовка) от боковых инженерных сетей до окончательного подключения 2 этапа, а также в предварительной квалификации инженерных сетей (газовых/химических) перед прибытием оборудования, последний шаг, это быстрое заключительное 2-фазное подключение после прибытия оборудования. Понимание каждой позиции сторонами необходимо для адаптации общей методики под специфику производства, требует сочетания теоретической базы и практических навыков, поэтому необходимо также уточнить детали и нюансы заранее при составлении технического задания на поставку оборудования. Документ разрабатывается подрядчиком, утверждается заказчиком и включает четыре обязательных этапа для проверки, настройки и испытания оборудования
| Необходимые документы: | Для чего |
|---|---|
| Контракт на закупку оборудования со всеми приложениями и спецификациями | Проверка по всем позициям на наличие информации для заполнения документа «Локальная спецификация на оборудование». Определение степени ответственности сторон и качества проводимых работ |
| Локальная спецификация на оборудование | Подготовка к приемо-сдаточным мероприятиям отдельной единицы технологического оборудования. Оценка готовности оборудования к работе в общей инфраструктуре завода |
| Технологические маршруты, описание и т.п. планируемых к запуску и производству изделий | Оценка готовности оборудования к работе по конкретным процессам по маршруту изготовления изделия, определение наличия рисков приводящих к отклонению в работе установки и самого изделия |
Чек-лист
| Название позиции | Понимание позиции | Наличие сейчас (отработанная позиция/дата) | Наличие планируется (дата) |
|---|---|---|---|
| 1. ВВЕДЕНИЕ | |||
| 2. ОПИСАНИЕ СИСТЕМЫ | |||
| 2.1. Список предметов. | |||
| 2.2. Конфигурация системы. | |||
| 2.3. Габаритные размеры. | |||
| 3. СПЕЦИФИКАЦИЯ МЕСТНОГО ИНТЕРФЕЙСА | |||
| 3.1.Процессы технологического оборудования | |||
| 3.2. Локальный интерфейс автоматизации | |||
| 3.3. Другой интерфейс связи | |||
| 4. СПЕЦИФИКАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ПРОЦЕССА | |||
| 4.1. Описание процесса | |||
| 4.2. Условия измерения | |||
| 4.3. Возможности процесса | |||
| 5. СЕРВИС | |||
| 5.1. Запасные части | |||
| 5.1.1. ЗИП на складе завода | |||
| 5.1.2. Доступность запасных частей | |||
| 5.2. Расходные части | |||
| 5.2.1. Расходные материалы на складе завода | |||
| 5.2.2. Доступность расходных материалов | |||
| 5.2.3. Расходные материалы (реагенты и спец. материалы) | |||
| 5.3. Инструменты и дополнительные устройства | |||
| 6. УСТАНОВКА И ЗАПУСК | |||
| Предварительная установка (планировка) | |||
| 6.1. Монтаж оборудования | |||
| 6.2. Предварительные проверки | |||
| 6.2.1. Проверка работы установки | |||
| 6.2.2. Проверка источников энергоносителей | |||
| 6.3. График настройки процессов | |||
| 6.4. График квалификации процессов | |||
| 6.5. Приемочные тесты | |||
| 6.6. Завершение гарантии | |||
| 7. КОНТРАКТНЫЕ ПАРАМЕТРЫ. | |||
| Таблицы надежности | |||
| 8. КАЧЕСТВО И РАСПРОСТРАНЕНИЕ МАГИСТРАЛЬНЫХ ЭНЕРГОРЕСУРСОВ | |||
| 8.1 Характеристики магистральных газов | |||
| 8.1.1 Кислород | |||
| 8.1.2 Водород | |||
| 8.1.3 Гелий | |||
| 8.1.4. Высокочистый Аргон | |||
| 8.2 Высокочистый Азот | |||
| 8.3 Сжатый сухой воздух | |||
| 8.4 DI Вода | |||
| 8.5 Технологическая охлаждающая вода | |||
1 – ВВЕДЕНИЕ.
Вводная часть разрабатываемого документа должна включать следующие базовые блоки:
- Назначение документа: определение целей проведения ПНР (настройка параметров, проверка систем автоматики и безопасности).
- Нормативная база: перечень ГОСТ, СНиП, отраслевых РД (руководящих документов) и инструкций заводов-изготовителей.
- Область применения: указание конкретных типов оборудования, систем и инженерных сетей, на которые распространяется данная методика.
- Ответственность сторон: разграничение зон контроля между заказчиком и подрядчиком.
2 – ОПИСАНИЕ СИСТЕМЫ.
Описание системы является справочным материалом для всех проверок, например, во время предварительных испытаний/проверки, настройки оборудования и окончательной приемки. Элементы или модули входящую в систему оборудования могут быть обрабатывающими или транспортирующими устройствами, специальными инструментами для обработки/трансфера продукта, инструменты технического обслуживания, документация (руководства, CD-ROM и т. д.), описания процессов, программное обеспечение оборудования, контроллеры, компьютеры, стандартные интерфейсы и т. д.
Оборудование может состоять из нескольких подсистем, и заказчик может предпочесть указать покупку такой же подсистемы или всех вспомогательных систем из источников, отличных от тех, которые обычно предлагаются поставщиком. Эта ситуация возникает по причинам закупки подобных подсистем для других установок у одного поставщика в едином комплекте поставки или из-за иных причин. Ожидается, что поставщик положительно отреагирует на эти запросы и предоставит гарантии, что ухудшение характеристик оборудования не ожидается, и что никакого влияния на гарантийное обслуживание не будет.
Поставщик оборудования не может гарантировать интеграцию элементов, которые не были протестированы с рассматриваемой системой.
3 – СПЕЦИФИКАЦИЯ МЕСТНОГО ИНТЕРФЕЙСА
Спецификация местного интерфейса предоставляет требования к интеграции оборудования на месте его эксплуатации в существующее производство. Обычно предоставляются требования (механические, электрические, программное обеспечение) к соединению самого оборудования и к вспомогательным системам обеспечивающим работоспособность всей системы.
4 – СПЕЦИФИКАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ПРОЦЕССОВ.
Оценка готовности оборудования к работе по конкретным процессам по маршруту изготовления изделия определяется по технологическому окну базовых процессов конкретного изделия
Оборудование будет использоваться для следующих процессов:
Процесс 1:
- название :
- общее описание:
Процесс N:
- название :
- общее описание:
Эти таблицы спецификаций будут использоваться в качестве справочной информации и для формирования тестовых образцов при приемке операций/процессов во время предварительных испытаний (PA) и для окончательной приемки (A) и для гарантийного срока (W).
| Параметр процесса | Данные по спецификации | Данные установки | Ед. измерения | Комментарии Условия измерения |
| Обработка следующих материалов | - | |||
| CD (критический, min размер) элемента | нм | |||
| Площадь обработки (плотность топологии) | % | |||
| Скорость обработки слоя | Å/мин | |||
| Однородность обработки: по пластине | % | |||
| Однородность обработки: от пластины. к пластине | % | |||
| Загрязнение (привн. деф.) | деф/см2 @ мкм | |||
| Производительность | Пл./час |
Для каждого процесса, упомянутого выше, следующие таблицы «ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОЦЕССА», точные:
- параметры процесса, подлежащие проверке, с их точными определениями
- данные спецификаций, включая единицу и числовое значение
- условия измерения, процедура измерений
ПРИМЕР:
Оборудование будет использоваться для следующих процессов:
Процесс №1:
- название : Dry etch Me through HM (SiNx)
- общее описание: Процесс формирования топологического рисунка в металлическом слое через жесткую маску SiNx селективно к нижележащему диэлектрическому слою методом плазмохимического травления.

| Элемент | Описание | Целевое значение | Ед.изм |
| Wi | Ширина одиночной изолированной линии | нм | |
| Wd | Ширина линии в области плотно расположенных топологических структур (вложенных областей) | нм | |
| Si | Ширина единичного изолированного (между двумя большими объемными площадками) пространства | нм | |
| Sd | Ширина пространства в области плотно расположенных топологических структур (вложенных областей) | нм | |
| HXX | Толщина целевого слоя, глубина травления | нм | |
| HOE | Глубина допустимого перетравливания топологической структуры | нм | |
| αi | Профиль (угол) одиночной изолированной линии | ˚ | |
| αd | Профиль (угол) в области плотно расположенных топологических структур | ˚ | |
| t - top, b - bottom | |||
5 – МЕСТНЫЕ СПЕЦИФИЧЕСКИЕ ЗАПАСНЫЕ ЧАСТИ.
Для обеспечения работоспособности всей системы до окончания гарантийного срока, поставщик должен предоставить список запасных частей, расходных материалов (условия хранения, если таковые имеются) и спец. устройств или инструментов, который необходимо держать на складе заказчика, согласованный обеими сторонами.
| 1. Запасные части | |||
| Название | Необх. кол-во | ЗИП на складе завода | Доступность запасных частей |
| 2. Расходные части/материалы и реагенты | |||
| Название | Необх. кол-во в месяц | Расходные материалы на складе завода | Доступность расходных материалов |
| 3. Инструменты и дополнительные устройства | |||
| Название | Необх. кол-во | Спец. характеристики | Функция |
6 – УСТАНОВКА И ЗАПУСК.
Чтобы обеспечить очень эффективное подключение и этапы квалификации уровня 1/уровня 2 как для поставщика, так и для клиента, а также уровня 3 для конкретных процессов со стороны клиента, решающее значение имеет этап предварительной установки.
График планирования, созданный покупателем, будет использоваться для детализации сроков установки и запуска оборудования. Эти диаграммы, например диаграммы Ганта, будут определены совместно поставщиком и покупателем, чтобы продолжительность и последовательность задач были правильными.
В рамках проекта основной упор делается на решения для быстрого наращивания мощности. Сосредоточение внимания на качестве является обязательным в следующих случаях:
- Набор оборудования и специализированных инструментов для подключения:
- Проверка соответствия при изготовлении оборудования на заводе:
- Хорошие предположения для начала предварительной подготовки (подключение 1 до прибытия оборудования) и подключение 2 после прибытия оборудования:
Сосредоточение внимания на качестве информации о подробных конфигурациях/опциях и решениях по подключению является обязательным, чтобы избежать переделок и задержек при установке оборудования.
Новый подход заключается в подготовке и выполнении как можно более раннего этапа подключения 1. (Предварительная подготовка) от боковых инженерных сетей до окончательного подключения 2 этапа, а также в предварительной квалификации инженерных сетей (газовых/химических) перед прибытием оборудования, последний шаг, это быстрое заключительное 2-фазное подключение после прибытия оборудования.
7 – КОНТРАКТНЫЕ ПАРАМЕТРЫ.
Контрактные параметры согласуются на основе стандартной гарантии производителя оборудования. При расширенной поддержке будут определены и согласованы разные расширенные значения.
| Контрактные параметры | Период | ||||||
| Тип | Название | ед.изм. | Q1 | Q2 | Q3 | Q4 | Q5 |
| Надежность | Незапланированное время простоя (UDT) | % | |||||
| Среднее время между отказами (MTBF) | ч. | ||||||
| Среднее время между помощью (MTBA) | ч. | ||||||
| Среднее время ремонта (MTTR) | ч. | ||||||
| Производительность | Производительность | пл./ч. | |||||
| Время квалификации | Среднее время на очистку (TTC) | ч. | |||||
| Среднее время между чистками (MTBC) | ч. | ||||||
| Время работы до использования запчастей | Время работы до использования запчастей | дн | |||||
| Стоимость обслуживания | Стоимость обслуживания | ||||||
| Дефектность | Дефектность | ||||||
| Смешанные параметры | |||||||
| Локальные параметры | |||||||
Серые значения не гарантированы, значения указаны для индикации, и эти значения должны быть достигнуты после гарантийного периода.
8 – КАЧЕСТВО И РАСПРОСТРАНЕНИЕ МАГИСТРАЛЬНЫХ ЭНЕРГОРЕСУРСОВ.
Каждый энергоноситель, подаваемый по магистральным сетям, должен соответствовать строгим нормативным документам для предотвращения поломок и аварий.
Для корректной работы прецизионного и высокотехнологичного оборудования критически важны параметры поставляемых ресурсов. Любые отклонения могут привести к выходу техники из строя или браку продукции.
Методология включает обязательное заполнение форм:
- Акт готовности систем к пуску (включая проверку качества сред).
- Протоколы замеров параметров качества энергоресурсов, давления магистралей и т.д.
- Режимные карты работы технологического оборудования
Базовый набор МАГИСТРАЛЬНЫХ ЭНЕРГОРЕСУРСОВ для производства стандарта класса чистоты ISO5/ISO6
| 8.1 Характеристики специальных магистральных газов | |
| Название | Параметры |
| 8.1.1 Кислород | |
| 8.1.2 Водород | |
| 8.1.3 Гелий | |
| 8.1.4. Высокочистый Аргон | |
| Характеристики базовых магистральных ресурсов | |
| Название | Параметры |
| 8.2 Высокочистый Азот | |
| 8.3 Сжатый сухой воздух | |
| 8.4 DI Вода | |
| 8.5 Технологическая охлаждающая вода | |
